如何在一个倾斜的表面例如锥，刻蚀其表面的AU？求工艺

求助刻蚀Au的工艺

请问如何在一个倾斜的表面例如锥，刻蚀其表面的AU，金属是用热蒸发生长上去的,大约70nm，我之前有尝试用反应离子刻蚀，刻蚀过，效果不好，锥表面上的没怎么掉，衬底平面上都刻坏了，大家有什么好的办法吗？

就是普通的硅片

 

湿法刻蚀流程

 

湿法刻蚀吧

 

湿法刻蚀不会全部都刻掉吗？

 

如果没做阻挡层，就看腐蚀速率，控制时间

 

哦哦，好哒，是个方法，谢啦～

锥形？

恩，锥形的